Ceramic thick films for MEMS and microdevices

作者：Robert A. Dorey.
出版社：William Andrew
ISBN：9781437778175 (electronic bk.) ; 9781437778175
出版日期：2012
其他作者：Dorey, Robert A.
語言：eng
出版地：Waltham, [MA] :
內容簡介
xviii, 191 p. ::ill. ;:24 cm.
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