Handbook of vacuum science and technology

作者：edited by Dorothy M. Hoffman, Bawa Singh, John H. Thomas, III.
出版社：Academic Press
ISBN：9780123520654 ; 0123520657
出版日期：c1998.
其他作者：Hoffman, Dorothy M. ; Singh, Bawa. ; Thomas, John H.
語言：zh
出版地：San Diego, CA :
內容簡介
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