MEMS materials and processes handbook

作者：edited by Reza Ghodssi, Pinyen Lin.
出版社：Springer Science+Business Media, LLC
ISBN：9780387473185 (electronic bk.) ; 9780387473161 (paper)
出版日期：2011
其他作者：Ghodssi, Reza. ; Lin, Pinyen.
語言：zh
出版地：Boston, MA :
內容簡介
xxxv, 1187 p. ::ill., digital ;:24 cm.
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